凈化棚氣流的重要性
凈化棚的潔凈度往往受到氣流的影響,換言之,即人、機器隔間、建筑結(jié)構(gòu)等所產(chǎn)生的塵埃之移動、擴散受到氣流的支配。潔凈室系利用HEPA、ULPA過濾空氣,其塵埃的收集率達99.97~99.99995%之多,因此經(jīng)過此過濾器過濾的空氣可說十分干凈。然而潔凈室內(nèi)除了人以外,尚有機器等之發(fā)塵源,這些發(fā)生的塵埃一旦擴散,即無法保持潔凈空間,因此必須利用氣流將發(fā)生的塵埃迅速排出室外。
影響凈化棚因素:
影響潔凈工作棚的氣流因素很多,如制程設(shè)備、人員、潔凈室組裝材、照明器具等,同時對于生產(chǎn)設(shè)備上方氣流的分流點,亦應(yīng)列入考慮因素。
一般操作臺或生產(chǎn)設(shè)備等表面的氣流分流點,應(yīng)設(shè)于潔凈室空間與隔墻板間距2/3之處,如此可使作業(yè)人員工作時,氣流可從制程區(qū)內(nèi)部流向作業(yè)區(qū),而將微塵帶走;若分流點配置在制程區(qū)前方,將成為不當?shù)臍饬鞣至?,此時大部份的氣流將流至制程區(qū)之后,作業(yè)員操作所引起的塵埃將被帶到設(shè)備后面,工作臺因而將受到污染,良率也勢必降低。
潔凈室內(nèi)的工作桌等障礙物,在相接處均會有渦流現(xiàn)象發(fā)生,相對地在其附近之潔凈度將會較差,在工作桌面鉆上回風孔,將使渦流現(xiàn)象減少最低;組裝材料之選擇是否恰當、設(shè)備布局是否完善,亦為氣流是否成為渦流現(xiàn)象之重要因素。
風機從FFU頂部將空氣吸入,經(jīng)初效過濾器,高效過濾器過濾,過濾后的潔凈空氣在整個出風面以0.45m/s±20%的風速勻速送出到潔凈棚內(nèi)。形成均流層,使?jié)崈艨諝鈿饬鞒蚀怪眴蜗蛄?,從而保證了工作區(qū)內(nèi)所要求的潔凈度。
凈化棚是能快速組建的簡易潔凈室,其具有安裝快速、施工周期短、價格低廉、移動方便等特點,把主要生產(chǎn)工序控制在較小的環(huán)境內(nèi)也是潔凈室設(shè)計的選擇。
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